1. ์ ๋ก
์ต๊ทผ ํ์๊ด ๋ฐ์ ์์คํ
์ ๋ฐ์ ํจ์จ ํฅ์, ํ์์ค๋ฆฝ ์ ์ฑ
๊ฐํ, ๋ถ์ฐํ ์ ์ ํ๋ ๋ฑ์ผ๋ก ์ธํด ์ ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก ๋ณด๊ธ์ด ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์๋ค [1,2]. ํ์๊ด ์์คํ
์ ๋ชจ๋์์ ์์ฑ๋ ์ง๋ฅ (DC) ์ ๋ ฅ์ ๊ณํต ์ฐ๊ณ๋ฅผ ์ํด ๊ต๋ฅ (AC)๋ก ๋ณํํ๋ DC/AC ์ธ๋ฒํฐ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํฌํจํ๋ฉฐ, ์ฅ๊ธฐ๊ฐ ์์ ์ ์ผ๋ก
์ด์ ํ๊ธฐ ์ํด์๋ ์ ๋ ฅ ๋ณํ ์ฅ์น (power conditioning system, PCS)์ ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ๊ณผ ํจ์จ ์ ์ง๊ฐ ํ์์ ์ด๋ค [3,4]. ์ด๋ฌํ PCS์ ์ฑ๋ฅ์ ๋ด๋ถ ์ ๋ ฅ ํ๋ก๋ฅผ ๊ตฌ์ฑํ๋ ํต์ฌ ์๋์์์ ํน์ฑ์ ํฌ๊ฒ ์์กดํ๋ฉฐ, ๊ทธ ์ค DC-link ํ๋ก๋ ์ ๋ ฅ ๋ณํ ๊ณผ์ ์์์ ์ ์
๋ณ๋์ ์ต์ ํ๊ณ ์๋์ง ํ๋ฆ์ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ ์งํ๋ ์์์ ์ํํ๋ค. DC-link ํ๋ก๋ ๋ชจ๋๊ณผ ์ธ๋ฒํฐ ์ฌ์ด์์ ์๋์ง๋ฅผ ์ ์ฅยท์์ถฉํ๋ฉฐ DC ๋ฒ์ค
์ ์์ ์์ ํํ๊ณ , DC-link ์ปคํจ์ํฐ๋ ์ ์ ๋ฆฌํ ์ต์ , ์ค์์นญ ๊ณผ๋ ์๋ต ์ํ ๋ฐ ์ ๋ ฅ ํ์ง ํ๋ณด์ ์ง์ ์ ์ธ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ค [5-7]. ๊ทธ๋ฆผ 1์ ํ์๊ด ๋ฐ ํ๋ ฅ ๊ธฐ๋ฐ ์ ๋ ฅ ๋ณํ ์์คํ
์์ DC-link ํ๋ก๋ฅผ ๊ฐ๋
์ ์ผ๋ก ๋ํ๋ธ ๊ฒ์ด๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 1 ํ์๊ด ๋ฐ ํ๋ ฅ ๊ธฐ๋ฐ ์ ๋ ฅ ๋ณํ ์์คํ
์์ DC-link ํ๋ก๋ฅผ ๊ฐ๋
์ ์ผ๋ก ๋ํ๋ธ ๋ชจ์๋
Fig. 1 Schematic illustration of the DC-link circuits in renewable energy power conversion
systems
ํ์ฌ DC-link์ฉ ์ปคํจ์ํฐ์๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ ํด ์ปคํจ์ํฐ, ๊ธ์ํ ํด๋ฆฌํ๋กํ๋ (MPP) ํ๋ฆ ์ปคํจ์ํฐ ๋ฐ MLCC (multilayer ceramic
capacitor)๊ฐ ์ฃผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ค [5,8,9]. DC-link ์ปคํจ์ํฐ๋ฅผ ์ ์ ํ ๋๋ ์ ์ ์ฉ๋๊ณผ ์ ๊ฒฉ ์ ์๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์๋์ง ์ ์ฅ ๋ฅ๋ ฅ, ๋ฆฌํ ์ ๋ฅ ํ์ฉ๋, ESR (equivalent series
resistance) ๋ฐ ESL (equivalent series inductance), ๋์ ์ฃผํ์, ์จ๋ ํน์ฑ๊ณผ ์๋ช
์ ์ข
ํฉ์ ์ผ๋ก ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ๋ค.
์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ ํด ์ปคํจ์ํฐ๋ ํฐ ์ ์ ์ฉ๋๊ณผ ์๋์ง ์ ์ฅ ๋ฅ๋ ฅ ๋ฐ ๋น์ฉ ์ธก๋ฉด์ ์ฅ์ ์ ๊ฐ์ง๋ฏ๋ก ์ ์ฃผํ ๋ฆฌํ ์ํ์ ๋์ฉ๋ ์๋์ง ์ ์ฅ์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ค.
๊ทธ๋ฌ๋ ์๋์ ์ผ๋ก ๋์ ESR๊ณผ ์ ํ์ ์ธ ๋ฆฌํ ์ ๋ฅ ํ์ฉ๋์ ๊ฐ์ง๋ฉฐ, ์ ํด์ก ์ฆ๋ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์๋ช
์ ์ฝ์ด ์กด์ฌํ๋ค [5,9]. MPP ํ๋ฆ ์ปคํจ์ํฐ๋ ๋ฎ์ ESR, ๋์ ๋ฆฌํ ์ ๋ฅ ํ์ฉ๋ ๋ฐ self-healing ํน์ฑ์ผ๋ก ๊ณ ์ ์ DC-link์ ์ ํฉํ์ง๋ง, ์ธ๋ผ๋ฏน ์ปคํจ์ํฐ์
๋น๊ตํ์ฌ ์๋์ ์ผ๋ก ํฐ ์ค์ฅ ๋ถํผ๊ฐ ์๊ตฌ๋ ์ ์๋ค [5,9]. MLCC๋ ์์ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฎ์ ESR ๋ฐ ESL๋ก ๊ณ ์ฃผํ ๋ฆฌํ ์ต์ ์ ์ ๋ฆฌํ์ง๋ง, DC bias์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋ ๊ฐ์์ ๊ธฐ๊ณ์ ์๋ ฅ์ ์ํ ๊ท ์ด
๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๋จ์ ์ผ๋ก ์ง์ ๋๋ค [9-14]. ๋ค๋ง ์ด๋ฌํ ํน์ฑ์ ์ ๊ฒฉ ์ ์, ์ ์ ์ฉ๋, ํจํค์ง ๊ตฌ์กฐ ๋ฐ ๋์ ์กฐ๊ฑด์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋ฏ๋ก, ์๋ก ๋ค๋ฅธ ๋ฌธํ์ด๋ ์์ฉ ์ ํ์ ์์น๋ฅผ ๋์ผํ ์กฐ๊ฑด์
์ฑ๋ฅ ๊ฐ์ผ๋ก ์ง์ ๋น๊ตํ๊ธฐ์๋ ํ๊ณ๊ฐ ์๋ค.
PLZT๋ ๊ฐ ๋ฌผ์ง์ ์กฐ์ฑ๋น์ ๋ฐ๋ผ PโE (polarizationโelectric field) ํน์ฑ์ด ๋์ ๋ฒ์์์ ์กฐ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, Haertling์
๋ณด๊ณ ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒดโ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์์ ์ด์ relaxor ํน์ฑ์ด ๋์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ๋ฐ๋ผ ๋๋ ทํ๊ฒ ๋ํ๋๋ค [15]. ์ด๋ฌํ ์์ ์ด ๊ฑฐ๋์ ์ด์ค ํ์คํ
๋ฆฌ์์ค ํํ์ P-E ์๋ต์ผ๋ก ๋ํ๋๋ฉฐ, ๋ฎ์ ์๋ฅ ๋ถ๊ทน [16,17]๊ณผ ๋์ ํ์ ์๋์ง ํจ์จ [18,19]์ ํ๋ณดํ๊ธฐ์ ์ ๋ฆฌํ ๊ตฌ์กฐ์ ํน์ฑ์ ์ ๊ณตํ๋ค.
์ต๊ทผ ์๋์ง ์ ์ฅ์ฉ ์ ์ ์ฒด์ ๋ํ ๊ณ ์ ๊ณ ์ฐ๊ตฌ์์๋ PLZT ๊ธฐ๋ฐ ์ธ๋ผ๋ฏน ๋ฐ๋ง์ด ๋์ ํญ๋ณต ์ ๊ณ [20,21]์ ์ฐ์ํ ์จ๋ ์์ ์ฑ์ ๊ฐ์ ธ ๊ณ ์๋์ง ์ ์ฅ ์์๋ก์์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ๊ฐ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๊ฐ๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ [16,17], PLZT ๋ฐ๋ง ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์์ญ $\text{J/cm}^3$ ์์ค์ ์๋์ง ๋ฐ๋๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ ์ ์๋ค๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ณด๊ณ ๋์๋ค [22]. ์๋์ง ๋ฐ๋๋ P-E ๊ณก์ ์ ์ ๋ถํ์ฌ ๊ตฌํ ์ ์๋ค.
๋ํ PLZT๋ ๋์ ์ ์ ๊ฐ๋ (dielectric strength)๋ฅผ ํ๋ณดํ ์ ์์ด ๊ณ ์ ์ ์คํ ๊ตฌ์กฐ์์ $\text{BaTiO}_3$ ๊ธฐ๋ฐ
MLCC ๋๋น ์ ๋ฆฌํ ๋ด์ ์ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ฐ๊ตฌ๋ ์ ์๋์ด ์๋ค [23,24]. ๊ทธ๋ฆผ 2๋ ์ ํ ์ ์ ์ฒด, ๊ฐ์ ์ ์ฒด ๋ฐ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด์ ์ด์์ PโE ํน์ฑ์ ๋น๊ตํ์ฌ PLZT ๊ธฐ๋ฐ ์ฌ๋ฃ์ ์ ๊ณ ์์กด์ ์์ ์ด ํน์ฑ์ ๊ฐ๋
์ ์ผ๋ก ์ ์ํ๋ค [25].
๊ทธ๋ฆผ 2 PLZT ๊ธฐ๋ฐ ์ฌ๋ฃ์ ๋ถ๊ทน ๊ฑฐ๋ ์ดํด๋ฅผ ์ํ (a) ์ ํ ์ ์ ์ฒด, (b) ๊ฐ์ ์ ์ฒด, (c) ๋ฎ์ ์ ๊ธฐ์ฅ ํ์ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด, (d) ๋์ ์ ๊ธฐ์ฅ
ํ์ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด ๋ชจ์๋ ๋ฐ (e) ์ด๋ค์ ์ด์์ ์ธ PโE ํน์ฑ ์ ์ฑ์ ๋น๊ต
Fig. 2 Schematic illustrations of (a) linear dielectrics, (b) ferroelectrics, (c)
antiferroelectrics under low electric field, and (d) antiferroelectrics under high
electric field, along with (e) a qualitative comparison of their ideal PโE characteristics
to understand the polarization behavior of PLZT-based materials
๊ทธ๋ฆผ 2(a)๋ ์ ํ ์ ์ ์ฒด์ ๋ถ๊ทน ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ด๋ฉฐ, ์ธ๋ถ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ํด ์ ๋๋ ๋ถ๊ทน์ด ์ ๊ธฐ์ฅ์ ๋น๋กํ์ฌ ์ ํ์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์ ๊ธฐ์ฅ ์ ๊ฑฐ ์ ์๋ฅ ๋ถ๊ทน์ด ์กด์ฌํ์ง
์๋ ์ด์์ ์ธ ์๋ต์ ๋ณด์ฌ์ค๋ค [26]. ๊ทธ๋ฆผ 2(b)๋ ๊ฐ์ ์ ์ฒด์ ๋ถ๊ทน ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ด๋ฉฐ, ์๋ฐ ๋ถ๊ทน์ ์กด์ฌ๋ก ์ธํด ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ผ ๋น์ ํ์ ์ธ ๋ถ๊ทน ์๋ต๊ณผ ์๋ฅ ๋ถ๊ทน์ด ๋ฐ์ํ๋ ํน์ฑ์ ๊ฐ๋ต์ ์ผ๋ก ํํํ์๋ค
[26]. ๊ทธ๋ฆผ 2(c)์ (d)๋ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด์ ๋ถ๊ทน ๊ฑฐ๋์ ๊ฐ๊ฐ ๋ฎ๊ณ ๋์ ์ ๊ณ ์กฐ๊ฑด์์ ๋ํ๋ธ ๊ฒ์ผ๋ก, ๋ฎ์ ์ ๊ณ์์๋ ์ธ์ ํ ์๊ทน์์ ๋ฐ๋ ๋ฐฉํฅ ์ ๋ ฌ๋ก ์ธํด ์ ๋ถ๊ทน์ด
์ ํ๋๋, ์๊ณ ์ ๊ณ ์ด์์์๋ ์ ๊ณ ์ ๋ ์์ ์ด์ ์ํด ๋ถ๊ทน์ด ๊ธ๊ฒฉํ ์ฆ๊ฐํ๋ ํน์ฑ์ ๋ณด์ฌ์ค๋ค [26,27]. ์ด๋ฌํ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด์ ์ ๊ธฐ์ฅ ์์กด์ ์์ ์ด ๊ฑฐ๋์ ๊ทธ๋ฆผ 2(e)์ ๋ํ๋ธ PโE ๊ณก์ ์์ ์ด์ค ํ์คํ
๋ฆฌ์์ค ํํ๋ก ๊ฐ๋
์ ์ผ๋ก ํํ๋๋ฉฐ [28], ์ด๋ PLZT ๊ธฐ๋ฐ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ ํ ์ ์ ์ฒด ๋ฐ ๊ฐ์ ์ ์ฒด์ ๊ตฌ๋ณ๋๋ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๊ฐ๋ ๋ฐฐ๊ฒฝ์ ์ค๋ช
ํ๋ค.
๋ค๋ง ๊ธฐ์กด ์ฐ๊ตฌ๋ ๋๋ถ๋ถ ์๋ฐฑ kV/cm ์ ๊ณ ์ธ๊ฐ ํ C-V์ ์๋์ง ์ ์ฅ ์ฑ๋ฅ ํ๊ฐ์ ์ง์ค๋์ด ์์ผ๋ฉฐ, ์ค์ ํ์๊ด ๋ฐ์ ์์คํ
์ DC-link
ํ๊ฒฝ์ ์ฅ์๊ฐ DC ์ ์์ ๋ฐ๋ณต ์ด์ ์ด ์ผ๋ฐ์ ์ด๋ฏ๋ก ๊ธฐ์กด ์ฐ๊ตฌ [29,30]๋ก๋ ์ค์ฌ์ฉ ๊ด์ ์ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ ํ๊ฐ๊ฐ ์ถฉ๋ถํ์ง ์๋ค.
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์์ฉ $V_R = 500\text{ V}$ PLZT ์ปคํจ์ํฐ๋ฅผ ๋์์ผ๋ก DC ์ ์ ๋ฐ ์ฃผํ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋, ์ํผ๋์ค, ESR,
์์ค๋ฅ ($\tan\delta$)๊ณผ DC ์ ์ฐ ํ๊ดด ํน์ฑ์ ํ๊ฐํ์๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ๊ณ ๋ฐ ์ฃผํ์ ์์กด์ ์ ๊ธฐ ํน์ฑ์ ํ์ธํ๊ณ ,
DC-link ์์ฉ์์ ๊ณ ๋ ค๋๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ฃผํ์ ์๋ต, ์ ์ ์์กด์ ์ ์ ์ฉ๋, ์์ค ๋ฐ ๊ธฐ์ด์ ์ธ ์ ์ฐ ํน์ฑ์ ๊ดํ ์ ๊ธฐ์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ ์ํ๊ณ ์
ํ๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ๊ฐ๋ณ ์ปคํจ์ํฐ์ ๊ธฐ์ด ํน์ฑ ํ๊ฐ์ ํด๋นํ๋ฉฐ, ์ค์ ๊ณ ์ ์ DC-link ์์คํ
์ ์ฉ์ ์ํด์๋ ์งยท๋ณ๋ ฌ ๊ตฌ์ฑ, ์ ์ ๊ท ๋ฑํ, ์ด์
ํน์ฑ ๋ฐ ์ฅ๊ธฐ ์ ๋ขฐ์ฑ์ ๋ํ ์ถ๊ฐ ๊ฒ์ฆ์ด ํ์ํ๋ค.
2. ๋ณธ ๋ก
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ PLZT ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด ์ธ๋ผ๋ฏน ์ปคํจ์ํฐ์ ์ฃผํ์ ์๋ต ํน์ฑ๊ณผ DC ์ ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋ ๋ณํ, DC ํญ๋ณต ์ ์ ํน์ฑ์ ์ํธ์ ๋์์ด์ง
(de-aging)์ ์ํ์ฌ 150 ยฐC์์ 1์๊ฐ ์ด์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ํํ ํ ์์จ์์ 48์๊ฐ ์์ ํ ๊ณผ์ ์ ๊ฑฐ์น ๋ค ์ธก์ ํ์๋ค. DC ์ ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์
์ฉ๋ ์ธก์ ์ ๋์์ด์ง์ ์ํํ ์์์ ์ํํ์ง ์๋ ์์ ๋ชจ๋ ์ธก์ ํ์๋ค.
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์ฌ์ฉ๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ๋ ๋์ ์ ์, $V_{op} = 400\text{ V}$ (operating voltage), ์ ํจ ์ ์ ์ฉ๋,
$C_{eff,typ} = 150\text{ nF}$ (typical effective capacitance at $V_{op}$, $0.5\text{
V}_{AC}$, 1 kHz, 25ยฐC)์ด๋ฉฐ, ์ ๊ฒฉ ์ ์, $V_R = 500\text{ V}$ (rated voltage)์ด๋ค [31]. ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ปคํจ์ํฐ๋ ์ ๊ฒฉ ์ ์๊ณผ ์ ์ ์ฉ๋์ด ํ๋์ ๊ฐ์ผ๋ก ์ ์๋์ง๋ง, PLZT ์ปคํจ์ํฐ๋ ๋น์ ํ ์ ์ ํน์ฑ์ผ๋ก ์ธํด ์ ์ ์กฐ๊ฑด์ ๋ฐ๋ผ ์ ์ ์ฉ๋์ด
๋ฌ๋ผ์ง๋ค. PLZT ์ปคํจ์ํฐ์์ $V_R$์ ์ ์ฐ ๋ฐ ์ ๋ขฐ์ฑ ๊ธฐ์ค์ ๋ฐ๋ฅธ ์ต๋ ์ ์์ ์๋ฏธํ๋ฉฐ, ์ฅ๊ธฐ๊ฐ ์ ์ ์ธ๊ฐ ์ ์ ์ฐ ํ๊ดด ๋ฐ ์ดํ๊ฐ ๋ฐ์ํ์ง
์๋๋ก ๋ณด์ฅํ๋ ์ ์ ํ๊ณ์ด๋ค. ์ด๋ ๊ธฐ์กด ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ๊ฒฉ ์ ์ ๊ฐ๋
๊ณผ์ ํธํ์ฑ์ ์ํด ์ ์๋ ๊ฐ์ด๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํ๋ก ์ค๊ณ ์ $V_R$ ์กฐ๊ฑด์์ $C_{eff,typ}$
๊ฐ์ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ๋ถํ์ ์ ์ ํ๋ฉด ๊ณผ๋ ์ค๊ณ๊ฐ ๋ ์ ์๋ค. PLZT ์ปคํจ์ํฐ์์๋ ์ ๊ฒฉ ์ ์๋ณด๋ค ๋์ ์ ์ $V_{op}$์ด ๋์ฑ ์ค์ํ ์ค๊ณ ๊ธฐ์ค์ด๋ค.
$V_{op}$๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ๋น์ ํ ์ ์ ํน์ฑ์ ๊ณ ๋ คํ์ฌ ์ค์ ๋์ ์ ๊ณ๋ฅผ ํ์ฑํ๋ DC ์ ์์ผ๋ก, ๋๋ถ๋ถ์ ์ ๊ธฐ์ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๊ฐ ์ด ์ ์์์
์ ์๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก $V_{op}$๋ $V_R$์ ์ฝ 0.5 โ 0.7 ๋ฐฐ ์์ค์์ ์ค์ ๋๋ฉฐ, ์ค๊ณ ๋ง์ง์ ๋ฐ๋ผ ์ฐจ์ด๊ฐ ๋ฐ์ํ ์ ์๋ค.
PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ ์ฉ๋์ $C_0$, $C_{eff,typ}$ ๋ฐ $C_{nom,typ}$, ์ธ ๊ฐ์ง๋ก ๊ตฌ๋ถ๋๋ค. $C_0$๋ DC ์ ์์ด
์ธ๊ฐ๋์ง ์์, ์ฆ, ํ์คํ
๋ฆฌ์์ค ๋ฐ์ ์ ์ ์ ์ฉ๋์ ์๋ฏธํ๋ค. $C_{eff,typ}$๋ ์ค์ ๋์ ์ ์ ($V_{op}$) ํ์์์ ์ ํจ ์ ์
์ฉ๋์ผ๋ก, ๋์ ์ฃผํ์ ๋์ญ์์์ ๋ฏธ๋ถ ์ ์ ์ฉ๋ (differential capacitance)์ด๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ค์ ๋์ ์กฐ๊ฑด์์์ AC ์ฑ๋ฅ์
๊ฐ์ฅ ์ ๋ฐ์ํ๋ ๋ํฏ๊ฐ์ผ๋ก ํ์ฉ๋๋ค.
์ด์ ๋นํด $C_{nom,typ}$ (typical effective nominal capacitance)๋ ์ ์กฐ์ฌ๋ง๋ค ์ ์ํ๋ ์กฐ๊ฑด์ด ์์ดํ ์
์๋ค. ์์ปจ๋ $C_{eff,typ}$๋ ์ค์ AC ์ธก์ ์น๋ฅผ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ํ์ง๋ง $C_{nom,typ}$๋ ๋งค์ฐ ๋๋ฆฐ ์ฃผํ์์ธ quasi-static
์ํ์์์ ํ๊ท ๊ฐ์ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ $C_{nom,typ}$์ ์ ๋์ ํ๊ธฐ๋๋ ๋ช
๋ชฉ์ ์์น์ด์ ์ด๋ก ๊ฐ์ ๊ฐ๊น๋ค. ์ค์ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ์ ๋ฐ์ํ๊ธฐ๋ณด๋ค๋
๊ท๊ฒฉ์์์ ํ๊ธฐ๋ ์ ์กฐ์ฌ ๊ฐ ๋น๊ต๋ฅผ ์ํด ๊ธฐ์กด ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ ์ฉ๋ ๊ท๊ฒฉ์ ๋์์ํจ ๊ฐ์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค. ๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก, ์ค์ AC ๋์ ํน์ฑ์ ๋ถ์ํ ๋๋
$C_{eff,typ}$๋ฅผ ์งํ๋ก ์ผ๋ ๊ฒ์ด ๋ ํ์ค์ ์ด๋ค. ์ ๋ฆฌํ๋ฉด $C_{nom,typ}$๋ ์๋ง์ ๋ค๋ฅธ ์ปคํจ์ํฐ์ ์ฉ๋์ ๋น๊ตํ๊ธฐ ์ํด์ ์ฌ์ฉํ๋ฉฐ
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด๊ฐ ํน์ DC ์ ์์์ ์ ์ ๋ถ๊ทน์ด ํญ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ผ์ด๋๋ ๊ตฌ๊ฐ์์ $dQ/dV$์์ ์ป์ผ๋ฉฐ, ์๋์ฐจ๋ก ๋น์ ํ๋ฉด $C_{nom,typ}$๋
์ต๊ณ ์๋, $C_{eff,typ}$๋ ํ๊ท ์๋๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ค (์ค์ ์ดํ ์ ์ ํจ ๋ฅ๋ ฅ). DC link๋ snubber ํ๋ก ์ค๊ณ ์ ์ปคํจ์ํฐ๊ฐ
๊ฐ์ง๋ ์๋์ง๋ฅผ ๊ณ์ฐํ ๋ $E = 1/2 \cdot C_{eff,typ} V^2$๋ก ๊ณ์ฐํ๋ ๊ฒ์ด ํ๋นํ๋ค.
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์ด์ฉํ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ $C_{nom,typ}$์ 250 nF์ด๋ค. ๋ชจ๋ ์คํ์ ์์จ์์ ์ํ๋์๋ค. ์ฃผํ์์ ๋ํ LCR ์ธก์ ์ ๋
์์๋ฅผ ์ด์ฉํ์์ผ๋, ์ ์๋ฏธํ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ด์ ํ ์์์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ง ๋ฃ์๊ณ , ์ ์ฐ ํ๊ดด ์ธก์ ์ ํ ์์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ฃ์๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์ฐ์ธ PLZT ์ปคํจ์ํฐ๋ค์
๊ทธ๋ฆผ 3๊ณผ ๊ฐ๋ค. ์ฃผํ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋, ์ํผ๋์ค, ESR ๋ฐ $\tan\delta$์ LCR meter (E4980A, Keysight Technologies,
Santa Rosa, CA, U.S.A)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ธก์ ํ์๋ค. DC ์ ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋ ๋ณํ๋ electrometer (B2985B, Keysight
Technologies, Santa Rosa, CA, U.S.A)์ LCR meter (E4980A, Keysight Technologies, Santa
Rosa, CA, U.S.A) ์ฌ์ด์ ์ธ๋ถ bias-T๋ฅผ ๊ฒฐํฉํ์ฌ ์ธก์ ํ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 3 ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์ด์ฉ๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ
Fig. 3 VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT capacitors used in this study
์ธก์ ํ๊ฒฝ ๋ฐ DC ์ ์ ์ธ๊ฐ์ ์ํด ์ปคํจ์ํฐ ์ ์ ์ฒด์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ๋๋ ์ (phase)์ด ๋ณํํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฌํ ์์ธ์ ๋ฐ๋ณต ์ธก์ ์ ์ธก์ ๊ฐ
๋ณ๋์ ์์ธ์ด ๋ ์ ์๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ฃผํ์ ํน์ฑ์ DC ์ ์์ $1\text{ V}_{DC}$๋ก ์ค์ ํ๊ณ AC ์ ์์ $0.5\text{ V}_{rms}$
์กฐ๊ฑด์์ ์ธก์ ์ ์ํํ์๋ค. ์ธก์ ์ฃผํ์ ๋ฒ์๋ 20 Hz์์ $2 \times 10^6\text{ Hz}$๊น์ง๋ก ์ค์ ํ์๋ค. ์์ ๊ฐ ์ ์ ์ฉ๋
ํธ์ฐจ๋ $C_0$๋ฅผ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ยฑ20%์๋ค. DC ์ ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋ ๋ณํ๋ AC ์ ์์ $0.5\text{ V}_{rms}$, ์ธก์ ์ฃผํ์ 1
kHz์์ DC ์ ์์ 0์์ 500 V๊น์ง spot (์คํ
์ ์ = 25 V) ๋ฐ sweep (์คํ
์ ์ = 10 V) ํ์ฌ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ฐ 1ํ์ฉ
์ธก์ ํ์๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 4๋ $1\text{ V}_{DC}$์์ ์ฌ๋ฌ ์ฃผํ์์์ ์ธก์ ๋ ์ปคํจ์ํด์ค, ๊ทธ๋ฆผ 5๋ $V_{DC}$์ ๋ฐ๋ฅธ ์ธก์ ๋ ์ ์ ์ฉ๋ ๋ฐ ๊ทธ๋ฆผ 6์ ์ธก์ ๋ ์ํผ๋์ค ๋ฐ ESR, ๊ทธ๋ฆผ 7์ ์ธก์ ๋ $\tan\delta$์ด๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 5์ ์์ 1๊ณผ 2์ ์ฐจ์ด๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ ์ธก์ ์ 150 ยฐC์์ ์ด์ฒ๋ฆฌ ๊ณต์ ์ ์ ๋ฌด์ด๋ค. ์ธ๋ผ๋ฏน ์ปคํจ์ํฐ๋ ์ผ๋ฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ฐ๋์ฒด์ ๋ฌ๋ฆฌ ๊ณต์ฅ์์
์ ์ ํ ์ฌ์ฉ์์๊ฒ ์ ๋ฌ๊น์ง ๊ฑธ๋ฆฌ๋ ์๊ฐ์ผ๋ก ์ธํด ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ด ๋ณํ๋ time aging์ด ์๋ค. ์ด๋ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ตฌ์กฐ์ phase๊ฐ ๋ณํ๋
์ด์ ๋ก ๋ฐ์ํ๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ์ฌ์ค์ ํ๊ธฐ ์ํด์ ์ธก์ ์ ์ด์ ์ธ๊ฐํ๋ ๊ณต์ ์ ์ํํ๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ time aging์ ๊ฒฐ๊ณผ ์ํฅ์ ์ต์ ํ๊ธฐ ์ํด ์ธก์
์ 150 ยฐC์์ ์ด์ฒ๋ฆฌํ๊ณ ์์จ์์ ๋ณด๊ด ๋ค ์ธก์ ์ ์ํํ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ time aging์ ์ฒด๊ณ์ ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌํ๋ ค๋ฉด ๋ค์ ์์์
๋ค์ํ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์กฐ๊ฑด์ผ๋ก ์ํ์ด ํ์ํ๋ค.
์ธก์ ์์คํ
์ ๊ธฐ์ ์ฑ๋ถ์ด AC ์ธก์ ์์ ์ธก์ ํ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ฏ๋ก ๊ธฐ์ ์ฑ๋ถ์ ์ค์ธ test fixture (16043E, Keysight
Technologies, CA, U.S.A) [32]๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ํ๋์๋ค. ๋ํ class II MLCC์ ์ ์ ํก์ (dielectric absorption) ํ์ [33]์ ํน์ ์ฃผํ์์์ ์ปคํจ์ํฐ ํน์ฑ์ด ๋ถ์ฐ์์ ์ผ๋ก ์ธก์ ๋๋ ํํ๋ก ๊ด์ฐฐ๋๊ธฐ๋ ํ๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ธก์ ํ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์์๋ ์ด๋ฌํ ํ์์ด
๊ด์ฐฐ๋์ง ์์๋ค. ์ด๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ ์ฒด ๊ตฌ์กฐ๊ฐ class II MLCC์ ๋ค๋ฅด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค. ์ฆ, ์ ์ ์ฒด ๋ด๋ถ์ RC ๊ฒฝ๋ก๊ฐ ๋ค๋ฅด๊ฑฐ๋ ์ ์ ํก์๊ฐ
๋ฐ์ํ๋ ์ฃผํ์๊ฐ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ธก์ ํ ์ต๋ ์ฃผํ์์ธ 2 MHz๋ณด๋ค ๋์ ์์ญ์ ์กด์ฌํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ค. ์ด๋ฅผ ํ์ธํ๊ธฐ ์ํด์๋ 2 MHz ์ด์์ ์ฃผํ์
์์ญ์์ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ์ ์ ์ฉ๋ ์ธก์ ์ด ํ์ํ๋ค. ์ ์ ํก์๊ฐ ์ ๋ ฅ ์ ์ ์์คํ
์์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฃผํ์๋ณด๋ค ๋์ ์์ญ์์ ๋ฐ์ํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ค๋
์ ์ ์์ฉ ์ธก๋ฉด์์ ๊ธ์ ์ ์ผ๋ก ํด์๋ ์ ์๋ค.
LCR ๋ฏธํฐ๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ปคํจ์ํฐ ์ธก์ ์์๋ auto level control (ALC) ๊ธฐ๋ฅ์ ์ฌ์ฉ์ด ์ค์ํ๋ค [32]. ALC๋ ์ธก์ ์ฅ๋น๊ฐ ์ค์ ๋ ์ ์์ด ์ค์ ์ปคํจ์ํฐ ์๋จ์ ์ ํํ ์ธ๊ฐ๋๋๋ก ์๋์ผ๋ก ์ ์ดํ๋ ๊ธฐ๋ฅ์ด๋ค. ์ธก์ ์ฅ๋น๋ ๋ด๋ถ ์ถ๋ ฅ ์ํผ๋์ค๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฏ๋ก
์ปคํจ์ํฐ ์ํผ๋์ค๊ฐ ๋ฎ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ ์ ๋ถ๋ฐฐ ํจ๊ณผ๋ก ์ธํด ์ค์ ์ธ๊ฐ์ ์์ด ๊ฐ์ํ ์ ์๋ค. ํนํ ์ธ๋ผ๋ฏน ์ปคํจ์ํฐ๋ ์ ์์ ๋ฐ๋ผ ์ ์ ์ฉ๋์ด ๋ณํํ๋ฏ๋ก
์ด๋ฌํ ์ ์ ๊ฐ์๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ํฅ์ ์ค ์ ์๋ค. ALC ๊ธฐ๋ฅ์ ํ์ฑํํ๋ฉด ์ฅ๋น๊ฐ ์ปคํจ์ํฐ ์๋จ ์ ์์ ๋ชจ๋ํฐ๋งํ๊ณ ์ถ๋ ฅ ์ ํธ๋ฅผ ๋ณด์ ํ์ฌ ์ค์ ๋
์ ์์ด ์ ์ง๋๋๋ก ์ ์ดํ๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ALC ์ต์
์ ํ์ฑํ ์ฌ๋ถ์ ๋ฐ๋ฅธ ํน์ฑ ๋ณํ๋ฅผ ๋น๊ตํ์๋ค. $V_R = 500\text{ V}$, $C_{nom,typ}
= 250\text{ nF}$ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ ์ฉ๋, ์ํผ๋์ค ๋ฐ $\tan\delta$ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์์ ALC ์ ์ฉ ์ฌ๋ถ์ ๋ฐ๋ฅธ ํฐ ์ฐจ์ด๋
๋ํ๋์ง ์์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ธ๋ผ๋ฏน ์ปคํจ์ํฐ ์ธก์ ์์๋ ์ธก์ ์ ํ๋๋ฅผ ํ๋ณดํ๊ธฐ ์ํด ALC ๊ธฐ๋ฅ์ ํ์ฑํํ๋ ๊ฒ์ด ๊ถ์ฅ๋๋ค.
PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ฃผํ ์์ญ์์ ์ ์ ์ฉ๋์ ์ผ์ ํ๊ฒ ์ ์ง๋์๋ค. ํนํ ์์ญ kHz ์ด์ ์์ญ์์๋ ์ ์ ์ฉ๋ ๋ณํ๊ฐ ๊ธ๊ฒฉํ์ง ์๋ค๋ ์ ์ ์์ ์ ์ธ
์๋์ง ์ ์ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ํน์ฑ์ ์์ฌํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ PLZT ์ปคํจ์ํฐ๋ ๊ณ ์ ์ค์์นญ ํ๊ฒฝ์์๋ ์ผ๊ด๋ ์ ์ ์ฉ๋ ์ ์ง๊ฐ ํ์ํ ์ ๋ ฅ ๋ณํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ ํฉํ
๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 4 ์ธก์ ๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ๋ค์ํ ์ฃผํ์์์ ์ ์ ์ฉ๋ (VDC = 1 V, VAC
= 0.5 V, 20 Hz โ 2 MHz)
Fig. 4 Measured capacitance of VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT capacitor at various
frequencies (VDC = 1 V, VAC = 0.5 V, 20 Hz โ 2 MHz)
$\text{BaTiO}_3$ ๊ธฐ๋ฐ class II MLCC์ ์ ์ ์ฉ๋์ ์ธ๊ฐ๋๋ DC ์ ์์ ๋ฐ๋ผ ๋ณํํ๋ ํ์ ํ ์ ์ ์์กด์ฑ (DC-bias
dependency)์ ๊ฐ์ง๋ค. ์ด๋ ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํน์ ์ ๋๋ฉ์ธ ๋ฒฝ ๊ณ ์ (domain wall pinning) ๋ฐ ๋ถ๊ทน ํฌํ ํ์์ ๊ธฐ์ธํ๋ฉฐ, ๋์
์ ์์ด ๋์์ง์ ๋ฐ๋ผ ์ ํจ ์ ์ ์ฉ๋์ด ๊ฐ์ํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ธ๋ค. ๋ฐ๋ฉด, ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด ํน์ฑ์ ๊ฐ๋ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ ์ฉ๋์ DC ์ ์์ด ์ฆ๊ฐํ๋ฉด
์ ์ง์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๋ค $V_{op}$ ๊ตฌ๊ฐ์ ๋๋ฌํ์ฌ ์ ์ ์ฉ๋์ด ๊ธ๊ฒฉํ ์ฆ๊ฐํ์ฌ ์ต๋๊ฐ์ ๋ํ๋ธ๋ค. ์ฆ, ์ธ๊ฐ์ ์์ ๋ฐ๋ผ ๋น์ ํ์ ์ธ ์ ์ ์์กด์ฑ์
๋ํ๋ธ๋ค. ์ด๋ฌํ ๋น์ ํ CโV ๊ฑฐ๋์ ๋ฌธํ์ ๋ณด๊ณ ๋ ๋ฐ๊ฐ์ ์ ์ฒด PLZT์ ์ ๊ณ ์์กด์ ์ ์ ์๋ต๊ณผ ์ผ์นํ๋ค [26,27].
๊ทธ๋ฆผ 5 ์ธก์ ๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ DC ์ ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋ (VDC = 0 โ 500 V,
VAC = 0.5 V, 1 kHz)
Fig. 5 Measured capacitance of VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT capacitor (VDC =
0 โ 500 V, VAC = 0.5 V, 1 kHz)
์ํผ๋์ค์ ๊ฒฝ์ฐ, ์ ์ฃผํ ๋์ญ์์๋ $1/2\pi fC$์ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๋ฐ๋ฅด๋ ์ด์์ ์ธ ์ปคํจ์ํฐ ๊ฑฐ๋์ ๋ณด์ด๋ฉฐ ์ฃผํ์์ ๋ฐ๋น๋กํ์ฌ ๊ฐ์ํ๋ค. ESR์ ์ ์ฃผํ
๋์ญ์์ ์ ์ ์์ค์ ์ํฅ์ผ๋ก ๊ฐ์ํ๋ค๊ฐ (์ ์ ์์ค์ ์ฃผํ์์ ๋ฐ๋น๋กํจ), ํน์ ์ฃผํ์ ์ด์๋ถํฐ๋ ๋ด๋ถ ์ ๊ทน์ ํํผ ํจ๊ณผ (skin effect)
๋ฐ ์ ์ ์ฒด ๋ถ์ฐ ํน์ฑ์ ์ํด ์ ์ง์ ์ผ๋ก ์์นํ๋ ๊ฑฐ๋์ ๋ณด์ธ๋ค. ํนํ ์ ๋ ฅ ์ ์ ์์คํ
์ ์ฃผ์ ๋์ ๋์ญ์์์ ESR ์ต์๊ฐ์ด ๋ฎ๊ฒ ํ์ฑ๋๊ณ ์์น
ํญ์ด ์๋งํ๋ค๋ ์ ์ ๊ณ ์ฃผํ ์ค์์นญ ํ๊ฒฝ์์ ์ด ๋ฐ์์ ์ต์ ํ๊ณ ์ ๋ ฅ ๋ณํ ํจ์จ์ ๋์ผ ์ ์๋ ํต์ฌ์ ์ธ ์ฅ์ ์ด ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 6 ์ธก์ ๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ํผ๋์ค ๋ฐ ESR (VDC = 1 V, VAC = 0.5
V, 20 Hz โ 2 MHz)
Fig. 6 Measured impedance and ESR of VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT capacitor
(VDC = 1 V, VAC = 0.5 V, 20 Hz โ 2 MHz)
PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ $\tan\delta$์ ์ ์ฃผํ ์์ญ์์ ๋ฎ์ ์์ค์ ์ ์งํ๋ฉฐ, ์ฃผํ์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ ์ง์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ธ๋ค. ์ด๋ฌํ
์ฆ๊ฐ๋ ๊ณ ์ฃผํ ๋์ญ์์ ๋ฐ์ํ๋ ์ ์ ์ฒด ๋ถ๊ทน์ ์ํ (dielectric relaxation)์ ๋ด๋ถ ์ ๊ทน์ ๊ธฐ์ ์ ํญ ์ฑ๋ถ (parasitic resistance)์
์ํฅ์ด ๋ณตํฉ์ ์ผ๋ก ์์ฉํ ๊ฒฐ๊ณผ์ผ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ค. ๋ค๋ง ๋ณธ ์ธก์ ๋ฒ์์์๋ ์๊ธฐ ๊ณต์ง (self-resonance) ์ฃผํ์๊ฐ ๋ช
ํํ๊ฒ ํ์ธํ์ง ์์์ผ๋ฏ๋ก,
์๊ธฐ๊ณต์ง ์ฃผํ์ ์ ๊น์ง ์์ ์ ์ธ ํน์ฑ์ ์ ์งํ๋ค๊ณ ๋จ์ ํ๊ธฐ๋ ์ด๋ ต๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ณธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์ธก์ ์ฃผํ์ ๋ฒ์ ๋ด์์ ์ ์ ์ฉ๋๊ณผ ์ ์ ์์ค์ ๋ณํ๊ฐ ์๋งํ์์์
์๋ฏธํ๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 7 ์ธก์ ๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ tanฮด(VDC = 1 V, VAC = 0.5 V, 20
Hz โ 2 MHz)
Fig. 7 Measured tanฮด of VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT capacitor (VDC = 1 V, VAC
= 0.5 V, 20 Hz โ 2 MHz)
๊ทธ๋ฆผ 8์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ฌ์ฉํ high power system source meter (2657A, Keithley Instruments, Solon, OH,
USA)์ด๋ค. ์ด ์์คํ
์ ์ปคํจ์ํฐ์ DC ์ ์์ ์ธ๊ฐ ํ๋ฉด ์ ๋ฐํ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ธก์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, DC 3 kV๊น์ง ์ธ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ๋ค [34].
๊ทธ๋ฆผ 8 ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์ด์ฉ๋ high power system source meter
Fig. 8 High power system source meter used in this study
๊ทธ๋ฆผ 9๋ ์ธก์ ๋ $V_R = 500\text{ V}$, $C_{nom,typ} = 250\text{ nF}$ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์์จ์์์ DC ํญ๋ณต ์ ์์
ํ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ธ๊ฐ๋ DC ์ ์์ด ์ฆ๊ฐํจ์ ๋ฐ๋ผ ๋์ค ์ ๋ฅ๋ ๋ฎ์ ์์ค์ ์ ์งํ๋ค๊ฐ ์ฝ 1.16 kV์์ ๊ธ๊ฒฉํ ์ฆ๊ฐํ๋ฉฐ ํญ๋ณต์ด ๋ฐ์ํ์๋ค. ์ด๋
๋์ ์ ๊ณ์ ์ํด ์ ์ ์ฒด ๋ด๋ถ์ ์ ๋ ๊ฒฝ๋ก๊ฐ ํ์ฑ๋๋ฉด์ ์ ์ฐ ํน์ฑ์ด ๊ธ๊ฒฉํ ์ ํ๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก ํด์๋๋ค. ๋จ์ผ ์์์์ ์ธก์ ๋ ์ ์ฐ ํ๊ดด ์ ์์ $V_R$
๋๋น ์ฝ 2๋ฐฐ ์ด์์ ์ ์ ๋ง์ง์ ๊ฐ์ง๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 9 ์ธก์ ๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์์จ DC ํญ๋ณต ์ ์
Fig. 9 Measured room-temperature breakdown voltage of VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF
PLZT capacitor
๊ทธ๋ฆผ 10 DC ํญ๋ณต์ด ๋ฐ์ํ์ฌ ceramic body๊ฐ ์์๋ VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ด๋ฏธ์ง
Fig. 10 Measured image of VR = 500 V, Cnom.typ = 250 nF PLZT capacitor with ceramic
body damage caused by DC breakdown
ํ์๊ด ์ ๋ ฅ ๋ณํ ์์คํ
๊ณผ ๊ฐ์ด ์ฃผ๋ก 1200 V๊ธ ์ ์์ด ์๊ตฌ๋๋ ์์ฉ์์๋ ํด๋น ์ ์ ์กฐ๊ฑด์ ๋ง์กฑํ๊ธฐ ์ํด ๋ ๋์ $V_R$์ ๊ฐ๋ PLZT
์ปคํจ์ํฐ๊ฐ ์๊ตฌ๋ ์ ์๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 10์ $V_R = 500\text{ V}$, $C_{nom,typ} = 250\text{ nF}$ PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ DC ํญ๋ณต์ด ๋ฐ์ํ์ฌ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ผ๋ก
ceramic body๊ฐ ์์๋ ์ด๋ฏธ์ง์ด๋ค.
PLZT ์ปคํจ์ํฐ๋ ๋์ ์ ์ ์์ ์ฑ๊ณผ ๊ณ ์ ์ ํ๊ฒฝ์์์ ์ฐ์ํ ์ฑ๋ฅ์ ์ ๊ณตํ ์ ์๋ค๋ ์ฅ์ ์ด ์์ผ๋, ์ ์ ์ฒด ์กฐ์ฑ์ ๋ฉ (Pb)์ ํฌํจํ๊ณ ์๋ค๋
์ ์์ ํ๊ฒฝ ๊ท์ ์ ๊ด๋ จ๋ ํ๊ณ๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ ์๋ค. ํนํ ์ ๊ธฐยท์ ์ ์ ํ์์ ์ ํด ๋ฌผ์ง ์ฌ์ฉ์ ์ ํํ๋ RoHS (restriction of hazardous
substances) ๊ท์ ์์ ๊ด๊ณ๊ฐ ์ค์ํ ๊ณ ๋ ค ์์๊ฐ ๋ ์ ์๋ค. ๋ฉ์ ํฌํจํ๋ ์ผ๋ถ ์ธ๋ผ๋ฏน ์ ์ ๋ถํ์ ๊ฒฝ์ฐ ๊ธฐ๋ฅ์ ํน์ฑ์ผ๋ก ์ธํด RoHS
์์ธ ์กฐํญ์ด ์ ์ฉ๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์์ผ๋, ์ด๋ฌํ ์์ธ ์ ์ฉ ์ฌ๋ถ๋ ํ๊ฒฝ ๊ท์ ์๊ตฌ์ฌํญ๊ณผ ์ค์ ์์ฉ ํ๊ฒฝ์ ์ข
ํฉ์ ์ผ๋ก ๊ณ ๋ คํ์ฌ ํ๋จ๋ ํ์๊ฐ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์
RoHS ๊ท์ ์ ์์ ํ ํธํ๋๋ $\text{BaTiO}_3$ ๊ธฐ๋ฐ MLCC์ ๋น๊ตํ ๋, PLZT ๊ธฐ๋ฐ ์ปคํจ์ํฐ๋ ์ฐ์ํ ์ ์ ํน์ฑ์ ์ ๊ณตํ์ง๋ง,
๊ท์ ์์ฉ์ฑ ๋ฐ ํ๊ฒฝ์ ์ธก๋ฉด์์ ์๋์ ์ธ ์ ์ฝ์ด ์์ ์ ์๋ค. ํํธ, ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ์์จ์์ ์ํํ ์ฃผํ์ ์๋ต, DC ๋ฐ์ด์ด์ค์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์ ์ฉ๋ ๋ฐ
DC ์ ์ฐํ๊ดด ํน์ฑ ํ๊ฐ์ ํ์ ๋์ด ์์ผ๋ฉฐ, ๋์ ์จ๋ ๋ณํ์ ์ฅ์๊ฐ์ ์ ์ ๋ฐ ๋ฆฌํ ์ ๋ฅ ์คํธ๋ ์ค์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ ๋ณํ๋ ํ๊ฐํ์ง ๋ชปํ์๋ค.
์ปคํจ์ํฐ์ ์ ์ ์ฉ๋, ESR ๋ฐ ์์ค ํน์ฑ๊ณผ ์๋ช
์ ์จ๋, ์ ์ ์คํธ๋ ์ค, ๋ฆฌํ ์ ๋ฅ ๋ฐ ๋์ ์๊ฐ์ ์ํฅ์ ๋ฐ์ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก [5], ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ง์ผ๋ก PLZT ์ปคํจ์ํฐ์ ์ฅ๊ธฐ ๋์ ์์ ์ฑ์ด๋ ์๋ช
์ ํ๋จํ๊ธฐ์๋ ํ๊ณ๊ฐ ์๋ค. ํฅํ์๋ ๋ค์ ์๋ฃ๋ฅผ ๋์์ผ๋ก ์จ๋๋ณ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ
์ธก์ ๊ณผ ๊ณ ์จ DC ์คํธ๋ ์ค ๋ฐ ๋ฆฌํ ์ ๋ฅ ์ํ, ๊ฐ์ ์๋ช
์ํ์ ์ํํ์ฌ ์ ์ ์ฉ๋, ESR, $\tan\delta$ ๋ฐ ์ ์ฐ ์ ํญ์ ์ฌ์ฉ ์๊ฐ์
๋ฐ๋ฅธ ๋ณํ์ ์ฅ๊ธฐ ์ ๋ขฐ์ฑ์ ํ๊ฐํ ํ์๊ฐ ์๋ค.